Теплопленочные элементы в микроэлектронике. Основы проектирования и изготовления

Авторы:А. Ю. Седаков, В. К. Смолин.
Издательство:Радиотехника
Год издания:2011
Серия:
Страниц:168
Размеры:60x90/16
Цена:545 руб.
Купить

Аннотация к книге:
Рассмотрено формирование тонкопленочной элементной базы микросборок, позволяющее создавать микроэлектронную аппаратуру с широким диапазоном функциональных возможностей и высокими точностными характеристиками; изложены принципы проектирования тонкопленочных элементов микросборок (МСБ): проводящих структур, резистивных элементов, тонкопленочных реактивных элементов (конденсаторов и индуктивностей); описаны основные технологические процессы формирования элементов плат МСБ и особенности технологических маршрутов изготовления плат с тонкопленочными элементами, вопросы контроля и обеспечения качества изготовленных элементов. Представленные в книге материалы, обобщающие результаты многолетних исследований, проведенных в рамках выполнения научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ в ФГУП "ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е.Седакова", а также исследований отечественных и зарубежных авторов, опубликованных в периодической литературе, могут оказаться полезными в качестве справочного...